半導(dǎo)體
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當(dāng)今世界,半導(dǎo)體尤勋、平板顯示器(FPD)炭玫、太陽能電池等領(lǐng)域的技術(shù)革新正取得驚人的進(jìn)歩胚吁。半導(dǎo)體裝置向高集成化方向發(fā)展鳖粟,其電路的最小寬度從45納米向32納米縮小侧馅。而FPD,則向大型化的方向發(fā)展,正在進(jìn)行第8代(2500毫米×2300毫米)到第10代產(chǎn)品的設(shè)備投資萍聊。隨之而來的,是對半導(dǎo)體制造裝置及FPD制造裝置等所使用的軸承悦析、直動式產(chǎn)品寿桨、機(jī)電一體化產(chǎn)品的功能要求越來越高,如低發(fā)塵性强戴、低排氣性亭螟、耐熱性、耐蝕性等骑歹。
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當(dāng)今世界预烙,半導(dǎo)體、平板顯示器(FPD)道媚、太陽能電池等領(lǐng)域的技術(shù)革新正取得驚人的進(jìn)歩扁掸。半導(dǎo)體裝置向高集成化方向發(fā)展,其電路的最小寬度從45納米向32納米縮小最域。而FPD谴分,則向大型化的方向發(fā)展,正在進(jìn)行第8代(2500毫米×2300毫米)到第10代產(chǎn)品的設(shè)備投資镀脂。隨之而來的牺蹄,是對半導(dǎo)體制造裝置及FPD制造裝置等所使用的軸承、直動式產(chǎn)品薄翅、機(jī)電一體化產(chǎn)品的功能要求越來越高沙兰,如低發(fā)塵性、低排氣性翘魄、耐熱性僧凰、耐蝕性等。
有效運(yùn)用材料技術(shù)熟丸、潤滑技術(shù)训措、清潔技術(shù)、表面改質(zhì)技術(shù)光羞、精密導(dǎo)向技術(shù)核心技術(shù)開發(fā)出的可在真空绩鸣、清潔、高溫纱兑、腐蝕等工況下使用的“SPACEA?系列: 特殊工況用軸承呀闻、滾珠絲杠、直線導(dǎo)軌”的產(chǎn)品陣容潜慎,在為各種裝置的高功能化及高性能化做貢獻(xiàn)的同時捡多,還致力于解決環(huán)保課題蓖康。
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